现在的位置：
> 产品中心 > TMA液体源蒸发系统（RY02-TMA-LVC-5B01A）
产品概述
TMA液体源蒸发系统主要由蒸发系统、PLC控制器、气液控制阀组面板、称重模块及柜体等组成，用于实现气液配比和蒸发，自动供应TMA&Ar蒸汽。
TMA液体源蒸发系统主要由蒸发系统、PLC控制器、气液控制阀组面板、称重模块及柜体等组成，用于实现气液配比和蒸发，自动供应TMA&Ar蒸汽。
